元素检测范围11钠(Na)~92铀(U)
同时检测元素可同时分析24种元素,五层以上镀层
含量测试范围0.1%~99.9%
厚度范围≤120μm
检出限0.001μm
厚度标准偏差≤1%
探测器Fast-SDD探测器
样品观察双摄像头(可放大至500x)
X射线装置高功率Mo靶射线管
检测时间3~20秒
多导毛细管光学器件Φ25μm
平台移动范围250mm(X)×250mm(Y)
操作环境温度0~30℃,湿度≤70%
工作电源AC220V±5V
外形尺寸660mm×860mm×735mm
仪器重量120kg
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