全自动微区膜厚测试仪
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产品描述

元素检测范围13铝(Al)~92铀(U) 同时检测元素可同时分析24种元素,五层以上镀层 含量测试范围0.1%~99.9% 厚度范围≤120μm 检出限0.0025μm 厚度标准偏差≤3% 探测器Fast-SDD探测器 探测器分辨率140±5ev X射线装置微焦斑W靶射线管 检测时间5~40秒 准直器多准直器自动切换 平台移动范围250mm(X)×250mm(Y) 操作环境温度0~30℃,湿度≤70% 工作电源AC220V±5V 外形尺寸660mm×860mm×735mm 仪器重量120kg
EDX-T详情
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