EDX-V多导毛细聚焦X荧光镀层测厚仪
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产品描述

元素检测范围11钠(Na)~92铀(U) 同时检测元素可同时分析24种元素,五层以上镀层 多导毛细管光学器件Φ25μm 厚度范围≤120μm 检出限0.001μm 厚度标准偏差≤1% 探测器SDD探测器 样品观察广角+微区相机(500x) X射线装置高功率Mo靶射线管 检测时间5~40秒 样品室尺寸600mm×600mm×140mm 平台移动范围250mm(X)×250mm(Y) 操作环境温度0~30℃,湿度≤70% 工作电源AC220V±5V 外形尺寸660mm×860mm×735mm 仪器重量120kg
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