元素测量范围11钠(Na)~92铀(U)
同时检测元素可同时分析24种元素,五层以上镀层
厚度检测范围0~120μm(视材质有所不同)
厚度标准偏差≤1%
检出限0.001μm
多导毛细管光学器件Φ25μm
检测时间5-30秒
探测器SDD探测器
X射线装置高功率Mo靶射线管
样品观察高分辨率CCD变焦摄像头
摄像头广角+微区相机(可光学放大至500x)
平台移动范围250mm(X)×250mm(Y)
操作环境温度0~30℃,湿度≤70%
工作电源AC220V±5V
外形尺寸660mm×860mm×735mm
仪器重量120kg
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